C00306 - SEMI C3.6 - シリンダ中のホスフィン（PH3），品質99.98% の仕様 : Standards semi.org : Standards|Women|Men|Denim & Pants|Skin

C00306 - SEMI C3.6 - シリンダ中のホスフィン（PH3），品質99.98% の仕様

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C00306 - SEMI C3.6 - シリンダ中のホスフィン（PH3），品質99.98% の仕様

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Model: 2139
Tags: Lang-Japanese StdDcs-Superseded StdTier-Tier0 StdTpc-Gases - Specialty StdVol-Gases

Revision:

SEMI C3.6-0710 - Superseded

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Description: 本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1981年発行。前版は，2001年7月発行。

本文書の目的は，半導体産業で使用されるホスフィン(PH₃)の仕様を提供することである。
　
Referenced SEMI Standards
SEMI C3 - Specifications for Gases
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