C00357 - SEMI C3.57 - シリンダ中の電子的グレード二酸化炭素，CO2の仕様 : Standards semi.org : Standards|Women|Men|Denim & Pants|Skin

C00357 - SEMI C3.57 - シリンダ中の電子的グレード二酸化炭素，CO2の仕様

Revision:

SEMI C3.57-0312 - Superseded

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Description: 本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年3月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年6月発行。

　

本文書の目的は，半導体製造産業にて使用される，二酸化炭素(CO₂)の仕様を提供することである。

　

本文書は，半導体製造産業にて使用される，二酸化炭素(CO₂)の要件をカバーするものである。

　
Referenced SEMI Standards
None.
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