本スタンダードは，global global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年10月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1978年発行，前版は2001年11月発行。

本文書の目的は，半導体産業で使用される過酸化水素に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。

SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals