本仕様はセンサ/アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードを実装するために規定された一連のスタンダードの一つである。本仕様の具体的な目的は,半導体装置センサ/アクチュエータ通信ネットワーク 上にあるエンドポイントデバイス(EPD)すべてに共通したデバイスオブジェクトで構成される,ネットワークに左右されないアプリケーションモデルを記述することである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model