本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model
SEMI E52 — Practice for Referencing Gases and Gas Mixtures Used in Digital Mass Flow Controllers
