本ネットワーク通信スタンダード(NCS)および関連EtherCATスタンダードは,SEMIスタンダードSAN共通機器(デバイス)・モデル(CDM)仕様およびSEMIスタンダード特定機器(デバイス)・モデル(SDM)仕様(例えばマス・フロー・コントローラ)と共に,ネットワーク上のさまざまな機器(デバイス)特有のデータ構造,やりとりと相互作用,および挙動について記述している。この組み合わせのモデルは半導体製造装置内部のインテリジェントなセンサ,アクチュエータ,およびコントローラに拘る通信に関して相互に置換可能となるようなスタンダードの完成形となる。
Referenced SEMI Standards
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model