本スタンダードではGEM基本要求条件と選択追加性能(§13にて規定)がストッカーSEM準拠の装置に組み込まれているものと見なしている。また,GEM標準要求条件と能力を状態モデル(ストッカー制御,搬送コマンド,キャリアおよびストッカークレーン状態モデル),収集,警報文書,リモートコマンド,データ変数項目,および材料搬送の領域にまで拡大している。
Referenced SEMI Standards
SEMI E4 — SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
SEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
SEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single Selected-Session Mode (HSMS-SS)
SEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface