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本ガイドは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで，そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年2月発行，前版は2001年11月に発行された。
注意： 本文書はSEMI PR5-0699を全面的に置き換えたものである。
このガイドにはコンピュータ統合生産（CIM）環境においてアプリケーションコンポーネントが協調し，そのコンポーネントを実用的に統合する為に必要な作業を削減できるテクニカルアーキテクチャが記述されている。CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャガイドは公開されている分散オブジェクトコンピューティング仕様が元になっている。ここではコンポーネントの相互運用性，代替性，および拡張性を向上させるのに必要なテクニカルインフラストラクチャに関する製造システムの要求事項を定義してある。本文書はコンポーネントを規定するためのガイドであり，ここには基礎となる分散オブジェクト通信インフラストラクチャの使用に関するオプションが書かれている。
本文書はSEMIコンピュータ統合生産（CIM）フレームワークスタンダードの技術的な基礎を築くためのガイドである。ここではオブジェクト指向とフレームワークテクノロジーを利用するコンポーネントベースのアーキテクチャについて記述してある。このテクノロジーを使うことによってコンポーネントの相互運用性および代替性，アプリケーションの拡張性および再利用の実現が容易になる。本文書ではフレームワークテクノロジーに必要なサポートを行う際の分散オブジェクト通信インフラストラクチャの役割を規定している。CIMフレームワーク仕様を別のインフラストラクチャテクノロジーへマッピングするための方法もこのテクニカルアーキテクチャで扱っている。しかし，そのマッピングは規定されるものではない。新たに出現してきているテクノロジーへのマッピングを定義するには今後も作業が必要だろう。特定のソフトウェアに関して解決する必要がある実装上の問題は本ガイドの範囲外である。
テクニカルアーキテクチャだけに関してこのガイドに忠実であってもアプリケーションの相互運用性は得られない。テクニカルアーキテクチャは相互運用性の土台となるものだが，それには以下の制限がある：
テクニカルアーキテクチャに関するガイドはCIMフレームワーク仕様の目標に到達するために必要な基礎だが十分なものではない。ガイドは発見された技術上の要求事項に特定の解決策で対応させようとはしていない。なぜならその要求事項を満足させる実装は一つだけではないからである。テクニカルアーキテクチャが行うのはむしろ，CIMソフトウェアサプライヤと顧客の双方が考えなければならないきわめて重要な技術上の要求事項を特定することである。スタンダード案は実装が提供しなければならない技術的性能を特定しているが，実装のオプションはオープンにしている。各性能の実装を提供し説明するのはサプライヤの仕事であり，特定の実装を自分の工場で使うかどうかを査定するのは顧客の仕事である
このガイドはCIMフレームワークコンポーネントのドメイン仕様をサポートし実現させるために分散コンピューティングインフラストラクチャが提供するサービスを得る為に必要な技術について指導している。その技術とは以下の通りである：
SEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
