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本書では，超純水（UPW）流中のパーティクルに寄与するコンポーネントを評価し比較するための推奨試験方法を示す。本方法は，SEMI F57のパーティクル試験要求を満たす。

パーティクル寄与度を評価する2つの方法を提示する。

すすぎ試験法では，コンポーネントの静的状態におけるフラッシングモード時の性能を評価する。これは，パーティクルレベルがユーザ定義の仕様にまで到達するのに必要な分量を示す。

サイクル試験法では，コンポーネントの繰り返しの性能を評価し，定常状態での繰り返しよるパーティクルの寄与度を示す。

これらの試験方法は，半導体製造装置よび補助装置に使用するための薬液とUPWシステムコンポーネントに適用される。

本書では，UPWを試験媒体として使用しコンポーネントのパーティクル寄与度を測定する方法を説明する。本書において，UPWの定義は本書の¶ 7.4で概述された最小要件を満たしているものとする。

これらの方法は，現場用液体光学式パーティクル測定装置（OPM）を使用して性能を定量化する。

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance, Subassemblies, and Final Assemblies

SEMI F57 — Specification for Polymer Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems