있다. 1. 목적 (Purpose)
2. 범위 (Scope)
3. 제한 사항 (Limitation)
4. 참고 문서 (Referenced Documents)
5. 용어 (Terminology)
6. 안전 철학 (Safety Philosophy)
7. 일반 조항 (General Provisions)
8. 평가 과정 (Evaluation Process)
9. 사용자에게 제공되는 문서 (Documents Provided to User)
10. 위험 경고 라벨 (Hazard Warning Label)
11. 안전 인터록 (Safety Interlock System)
12. 비상 정지 (Emergency Shutdown)
13. 전기 설계 (Electrical Design)
14. 소방 (Fire Protection)
15. 가열된 화학물질 용기 (Heated Chemical Baths)
16. 인간공학 및 인적 요소 (Ergonomics/Human Factors)
17. 위험 에너지 격리 (Hazardous Energy Isolation)
18. 기계 설계 (Mechanical Design)
19. 지진 보호 (Earthquake Protection)
20. 자동 물질 핸들러 (Automated Material Handlers)
21. 환경적 고려사항 (Environmental Considerations)
22. 배출 환기 (Exhaust Ventilation)
23. 화학 물질 (Chemicals)
24. 전리 방사선 (Ionizing Radiation)
25. 비전리 방사선 과 방사선 영역 (Non-Ionizing Radiation and Fields)
26. 레이저 (Laser)
27. 음압 레벨 (Sound Pressure Level)
28. 관련 문서
Appendix 1 – 액체 화학물질 사용 장비의 설계지침 (Design Guidelines for Equipment Using Liquid Chemicals)
Appendix 2 – 전리 방사선 테스트 평가 (Ionizing Radiation Test Validation)
Appendix 3 – 비전리 방사선(레이저 포함)과 전자기장 영역의 테스트 방법과 노출 기준 (Exposure Criteria and Test Methods for Non-Ionizing Radiation (Other than Laser) and Electromagnetic Fields)
Appendix 4 – 소방: 시공자재 선정을 위한 플로우 차트 (Fire Protection: Flowchart for Selecting Materials of Construction)
Appendix 5 – 레이저 데이터 시트 – SEMI S2 (Laser Data Sheet – SEMI S2)
제시된 소요 항목의 우선 순위 기준
—본 안전지침의 내용들간에 차이가 있는 경우, 기술적인 문제를 기술한 섹션이 일반적인 내용을 기술한 섹션보다 우선한다.
Referenced SEMI Standards
SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation
SEMI F5 — Guide for Gaseous Effluent Handling
SEMI F14 — Guide for the Design of Gas Source Equipment Enclosures
SEMI F15 — Test Method (SF6 Tracer Gas) for Enclosures Has Been Moved to SEMI S6
SEMI S1 — Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S3 — Safety Guideline for Process Liquid Heating System
SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S7 — Safety Guidelines for Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S12 — Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
