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本安全基準的目的是讓報告使用者，決定評估公司和評估人員的資格。

在應用「SEMI S系列」文件進行評估有關公司時，本安全基準提供評估公司和評估人員應提供之最低限度的資訊。

在應用「SEMI S系列」文件或因應評估報告買方要求時，本安全基準提供相關資訊應如何予以溝通之。

適用範圍

應用「SEMI S系列」文件於評估公司和評估人員的資格，本基準提供了指導原則。

本基準包括：

· 目的

· 範圍

· 限制

· 引用的標準與文件

· 術語

· 概述

· 評估公司資格

· 評估人員資格

· 專業領域

SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S3 — Safety Guidelines for Process Liquid Heating Systems
SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S22 — Safety Guideline for Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System