本基準之技術業經全球環境、衛生及安全委員會核准。此版本由全球稽核及審查小組委員會於2006年11月21日核准出版，並於2007年2月在www.semi.org發行線上版本，同年3月出版光碟版。初版於2000年6月發行。
注意：本文件於2007年全面重新編寫。
本文件係在提供半導體製造設備（SME）的設計基準，以期盡可能減少設備或其零組件在壽命終了時對環境的影響。
本基準提供設計考量事項，以期盡可能減少SME或其零組件在壽命終了處理階段對環境的影響。
本基準提供設計考量事項，以鼓勵回收利用SME或其零組件。
本基準包含下列章節：
Referenced SEMI Standards
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S12 — Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment
