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本安全基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員會核准，且由北美環境、衛生與安全委員會直接負責。目前版本由北美區域標準委員會於2002年8月29日核准，2002年9月首先在www.semi.org發行線上版本，並於2002年11月正式出版。
本文件之目的係在提供基準給雇主，使其熟悉環境、衛生及安全事宜。
建立明確的學習目標，俾於完成訓練後對環境、衛生及安全（EHS）有一基本認識。
確立品質控制、文件化及紀錄，確保遵守EHS訓練計畫的管理基準。
本文件適用於半導體製造設備的安裝、保養、維修人員以及提供半導體設備支援之其他人員的EHS訓練。
在審查是否符合本基準時，應以本基準所提的所有要素作為判定依據。
Referenced SEMI Standards
None.
