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本基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員會核准，目前版本由全球稽核及審查小組委員會於2005年5月20日核准出版，並於2005年6月在www.semi.org發行線上版本，2005年7月發行光碟版。初版於2005年3月發行，2005年07月預定公開。
本基準說明半導體製造設備之能源、電力及原料的節約概念。
本基準說明半導體製造設備之能源、電力及原料的使用方法。
本基準並說明半導體製造設備之能源、電力及原料使用的持續改善，以促進能源、電力及原料的節約。
本基準提供一系列的選擇與說明，旨在協助讀者瞭解能源、電力及原料節約技術。本基準亦提供電力與原料使用率測量，以及將測量值換算成等效能源的方法建議。
本基準旨在作為半導體製造設備的能源、電力與原料節約分析之工具。
本基準亦提供半導體設備的能源、電力與原料的使用率及耗量降低情形通報之方法。
本基準建議使用能源的當量值，以方便量化與SME相關的整體能源消耗與節約，且有助於規劃能源節約方法。
本基準僅著重設備壽命週期內的使用階段，且未涵蓋所有電力與原料相關議題。
本基準亦對電力與原料的使用率和能源節約設有驗證與改善之目標。
本基準包含下列章節：
目的 範圍 限制 參考標準 詞彙 一般概念 能源使用的壽命週期評估（LCA） 基線製程 測量電力與原料使用率 等效能源的換算係數 設定目標與改善 監測與通報 相關文件
SEMI S2 — Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation
