本安全基準著重於半導體或平面顯示器工廠內部過氧化氫的貯存、處理、運送及輸送作業。
本安全基準包括下列章節：
- 目的（第1節）
- 範圍（第2節）
- 限制（第3節）
- 參考標準及文件（第4節）
- 詞彙（第5節）
- 安全原則（第6節）
- 一般原則（第7節）
- 教育訓練（第8節）
- 緊急應變（第9節）
- 材料、零組件及結構（第10節）
- 貯存（第11節）
- 操作（第12節）
- 輸送系統及模組／輔助設備（第13節）
Referenced SEMI Standards
SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment
