본 표준은 글로벌 환경, 보건 및 안전 기술 위원회(Environmental, Health & Safety Committee)의 기술 승인을 받았다. 본 버전은 글로벌 감사 및 평가 소위원회(Audits and Reviews Subcommittee)가 2012년 6월 18일에 간행을 승인했으며 2012년 7월부터 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공된다.
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주의:
본 한글본은 참고용으로, 영문원본과 한글본간에 차이가 발생할 경우, 영문원본을 우선으로 해야합니다. 본 한글본에 대한 문의사항이 있는 경우 [email protected].로 문의바랍니다.
본 문서는 제조 장비(ME)에서 배출되는 불소계 온실가스(F-GHG)의 특성을 표시하기 위한 가이드를 제공한다.
본 문서는 저감 설비(abatement tool)의 F-GHG 처리 효율(DRE) 특성을 표시하기 위한 가이드를 제공한다.
또한 본 문서에서는 ME 또는 저감 설비(abatement tool)에서 배출량 저감을 위한 지속적인 개선 계획에 대해서도 다룬다.
본 가이드가 적용되는 온실가스(GHG)는 CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, CHF3, SF6 및 NF3이다.
본 가이드는 ME의 F-GHG 배출 특성 표시에 적용된다.
본 가이드는 저감 설비(abatement tool)의 F-GHG 배출 특성 표시에도 적용된다.
본 가이드는 ME에서 발생하는 화학 반응을 통한 F-GHG의 소비량, 잔류물, 부산물 또는 재결합에 대한 특성 표시에 적용된다.
본 가이드는 F-GHG DRE의 저감 설비(abatement tool) 사양에 적용된다.
적어도 반도체, TFT-LCD, 태양광전지 산업에는 본 가이드를 활용하는 것이 바람직하다.
본 가이드에 포함된 섹션은 다음과 같다.
- 목적
- 범위
- 제한 사항
- 참조 표준 및 문서
- 용어
- 일반 조항
- 기준 레시피
- 측정 기구
- F-GHG 배출의 측정 및 특성 표시
- F-GHG 배출 특성 표시의 시기 및 빈도
- 보고
- 특성이 표시된 데이터 기록 보존
- 로드맵 및 지속적인 개선
Referenced SEMI Standards
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment
