Tag：StdTpc-300 mm Carriers & Physical Interfaces

E05700 - SEMI E57 - 300 mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様

E05700 - SEMI E57 - 300 mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様

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E05700 - SEMI E57 - Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers

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E06300 - SEMI E63 - Specification for 300 mm Box Opener/Loader to Tool Standard (BOLTS-M) Interface

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E06300 - SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ／ローダーと装置間のスタンダード（BOLTS-M）インタフェースの機械的仕様

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E08300 - SEMI E83 - Specification for PGV Mechanical Docking Flange

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E08300 - SEMI E83 - PGVメカニカルドッキングフランジの仕様

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E00109 - SEMI E1.9 - Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers

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E00109 - SEMI E1.9 - 300 mmウェーハ搬送および保管用ウェーハカセットの機械仕様

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E11000 - SEMI E110 - Guideline for Indicator Placement Zone and Switch Placement Volume of Load Port Operation Interface for 300 mm Load Ports

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E11900 - SEMI E119 - Mechanical Specification for Reduced-Pitch Front-Opening Box for Interfactory Transport of 300 mm Wafers

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E11900 - SEMI E119 - 300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT）の機械仕様

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E13100 - SEMI E131 - Specification for the Physical Interface of an Integrated Measurement Module (IMM) into 300 mm Tools Using Bolts-M

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E01501 - SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様

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E01501 - SEMI E15.1 - Specification for 300 mm Tool Load Port

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E04701 - SEMI E47.1 - Mechanical Specification for FOUPS Used to Transport and Store 300 mm Wafers

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E04701 - SEMI E47.1 - 300 mmウェーハ搬送および保管用FOUPの機械仕様

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E06200 - SEMI E62 - Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)

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E06200 - SEMI E62 - 300 mmフロントオープニング・メカニカルインタフェース（FIMS）の仕様

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