本仕様は，
Flat Panel Display Equipment Committeeで技術的に承認されたもので，North American Flat Panel Display Committeeが直接責任を負うものである。現版は1998年7月にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。1998年7月にまずSEMI On Lineで入手可能になり，1998年9月発行に至る。
本仕様は
FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。これらの主要要求事項は，それらを標準化することによって，搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能することにある。この標準化は，マテリアルハンドリング装置の選択に自由度を持たせて，コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。
これらスタンダードは，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これら特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。したがって，プロセスツールポートと，コンベヤのような連続した直接
WIP搬送のインタフェース，あるいは，AGVのような当面の個別設計ビークルとのインタフェース，に有効である。このスタンダードに採用した寸法は，カセット搬送同様，枚葉搬送の場合にも適用する。
Referenced SEMI StandardsSEMI D5 — Standard Size for Flat Panel Display Substrates
SEMI D11 — Specification for Flat Panel Display Glass Substrate Cassettes
