本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行。前版は2004年11月発行。
本試験方法の目的は，1台のMFCがガスを他のガスに変更したとき，公称平均換算率およびそのMFCの流量関数としての換算率を定量化することである。
Referenced SEMI StandardsNone.
