本ガイドは複数の目的で提供される。本ガイドは，高純度水（HPW）装置の新規購入に関する性能基準を設けるための基礎として用いてよい。また，設備エンジニアがHPWシステム運転時のプロセス制御パラメータを設定する目的で内部使用してもよい。さらに，施設によって供給されているHPWの品質について，プロセスエンジニアが合理的な期待を設定する目的で用いてもよい。