本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで，そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2003年11月に発行された。
シリコン製造において，製品の処置は通常計量装置の出力次第である。例えば，製作物の一部は，1つまたはそれ以上の測定された出力特性に基づき出荷されるか，廃棄されるか，作り直されるかする。1つのコストモデルが，ある仮定と条件下で運用する計量装置に関連する費用を見積もる方法を提供している。
本法は，計量装置供給者と使用者に，仕様書に適合する製品テストをする際，測定変動と偏りに起因する製品の分類誤りに基づく費用を決定するための標準方法論を提供している。
本法は，異なったP/T（精度／許容）比を持つ測定装置購入の事前評価に役立つよう意図されている。また本法は，１つの測定装置において，P/T比が用いられるスループットモードあるいは他の装置のセットアップ要因によって変化する場合，異なったスループットモードでの操作比較を行うのに役立つよう意図されている。本法は，使用者が特定のプロセス能力と必要条件に基づく最適な費用解決策を選択する助けとなる。
本法には，伝統的な費用構成要素（例えば装置，保守，操業およびスタッフのコスト）のみならず製品の費用データは含まれない；各使用者は，設備に対し適用可能なビジネスモデルに基づき適正なデータを用いるべきである。
Referenced SEMI Standards
SEMI E35 — Guide to Calculate Cost of Ownership (COO) Metrics for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI E89 — Guide for Measurement System Analysis (MSA)
SEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers S
EMI M59 — Terminology for Silicon Technology
