本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年12月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年2月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.org で入手可能となる。初版は2005年3月発行，前版は2010年3月に発行された。

シリコン技術は集積回路（IC）および半導体デバイス産業の基礎である。シリコンサプライヤと顧客および業界関係者の共通の理解，正しいコミュニケーションを促進するために，この分野で使用される用語を定義する。