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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

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注意：「Current」のステータスを維持するための条件が現時点で満たされていないため、このスタンダードまたは安全ガイドラインは「Inactive」ステータスとなっています。「Inactive」のスタンダードまたは安全ガイドラインはSEMIから入手可能であり、引き続き有効です。

本ガイドラインは，フォトマスク上の欠陥，およびプログラム欠陥分類法を提示し，さらにサイズの定義を行なう。本文書内では，‘フォトマスク’という言葉のみが使用されているが，‘レチクル’という言葉とも置き換えが可能である。

フォトマスク上の欠陥の分類・呼称・サイズを表現する場合には，本ガイドラインに準ずることが望ましい。

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

None.