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Tag:StdVol-Materials
M05300 - SEMI M53 - パターンのない半導体ウェーハ表面上に証明済み手法で付着した単分散標準粒子を用いた走査型表面検査システム較正の作業方法
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M05500 - SEMI M55 - 鏡面単結晶シリコンカーバイドウェーハの仕様
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M05600 - SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法
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M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様
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M00600 - SEMI M6 - Specification for Silicon Wafers for Use as Photovoltaic Solar Cells
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M06200 - SEMI M62 - シリコンエピタキシャルウェーハの仕様
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M06700 - SEMI M67 - 測定した厚さデータ配列からESFQR,ESFQD,ESBIR METRICS法を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
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M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法
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M07400 - SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様
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M07500 - SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウムアンチモンスライスの仕様
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M07600 - SEMI M76 - Specification for Developmental 450 mm Diameter Polished Single Crystal Silicon Wafers
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M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mmシリコン単結晶鏡面ウェーハの仕様
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M07800 - SEMI M78 - 量産時における130nmから22nm世代のパターンなしシリコンウェーハ上のナノトポグラフィー決定に関するガイド
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M07900 - SEMI M79 - 太陽電池用円盤状100 mm鏡面研磨単結晶ゲルマニウムウェーハの仕様
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M00800 - SEMI M8 - 鏡面単結晶シリコンテストウェーハの仕様
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M08000 - SEMI M80 - 450 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様
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M08100 - SEMI M81 - 単結晶シリコンカーバイド基板に存在する欠陥についてのガイド
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M00900 - SEMI M9 - 鏡面単結晶ガリウムヒ素スライスの仕様
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